紧凑型多轴执行器
- 单轴和多轴版本
- 行程范围为10 × 10 × 10 µm
- 极端可靠。>109次
- 皮米级的分辨率
- 交付时间短
压电式剪切推杆
工作电压-250到250V。横向位移是基于压电剪切效应。优秀的动态性能,对电力的要求最低。
有内孔的变体,或用于低温和UHV环境,达到10-9 hPa。
应用的领域
- 工业和研究
- 扫描应用
- 显微镜
- 精密机械学
- 开关应用
可能的修改
- 压电陶瓷材料
- 非磁性版本
- 工作电压范围、位移、层厚、截面尺寸
- 负载能力,力的产生
- 机械接口:平面、球面、金属、陶瓷、玻璃、蓝宝石等。
- 超严格的长度公差
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