- 导向台和执行器同时存在
- 行程范围达38微米
- 分辨率0.1 nm
- 可提供非磁性版本
- 由于直接驱动,反应特别快
- 由于电容式传感器,具有最高的线性度
- 扫描显微镜
- 测量技术
- 测试程序和质量保证
- 光电子学
- 光纤定位
电容式传感器以亚纳米级的分辨率进行测量,无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。
直接位置测量带来的最大精度
运动是在运动平台上直接测量的,没有任何驱动或导向元件的影响。这就实现了最佳的重复性、出色的稳定性和僵硬的快速反应控制。
PICMA®直接驱动带来更高的刚度和动态性
采用PICMA®直接驱动的压电纳米定位器没有机械平移。这使得快速反应速度以及压电驱动范围内的最高刚度和动态性成为可能。
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