XY轴位移台 M-11 seriesXYZ轴电动紧凑型
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴, XYZ轴
- 类型
- 电动
- 其他特性
- 紧凑型, 闭合回路, 适用真空
- 运行行程
5 mm, 15 mm, 25 mm
(0.197 in, 0.591 in, 0.984 in)- 速度
1 mm/s, 1.5 mm/s
- 重复精度
0.25 µm, 2 µm
产品介绍
- 适用真空度高达 10-6 hPa
- 采用折叠式驱动，结构非常紧凑
- 非接触式基准和限位开关
紧凑型线性平台，用途广泛
折叠式驱动和皮带传动使直线运动平台结构紧凑。开孔直径为 10 mm，可直接安装 XY 装置，无需转接板。
驱动装置
- 间隙补偿导螺杆
应用领域
真空室。研究。光束线仪器。显微镜电子组装和检测
减少放气，尤其适用于真空环境
最值得注意的是，在导轨和驱动螺杆的润滑方面，使用了一种除气率特别低的材料。因此，烘烤温度最高可达 80 °C。通过对 PI V6 真空等级的改进，该定位器的真空度可达 10-6 hPa。
位置测量
- 电机轴上的旋转编码器
- 非接触式霍尔效应基准和限位开关
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* 显示价格为参考价，此价格不含税、不含运费、不含关税，也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。