旋转位移台 A-68x

机动多轴精准

- 365毫米直径的运动平台，260毫米直径的孔径 - 偏心率和平面度<300纳米 PIglide RLA系列的直接驱动平面旋转平台是为最高精度而设计的。它们具有低矮的外形和大的透明孔径。RLA平台具有卓越的移动精度、平面度和晃动性能。 绝对编码器（可选） 绝对编码器提供明确的位置信息，可以立即确定位置。这意味着在开启时不需要参考，这就提高了操作过程中的效率和安全性。 应用范围 断层扫描、光束线系统、晶圆计量、晶圆检测、测量技术、检测系统、校准、扫描。 由于无摩擦运动，没有颗粒形成，这使得PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。 3相扭矩电机 - 无刷 - 低齿槽转矩 附件和选项 - 增量式或绝对式编码器 - PIglide过滤器和空气准备套件 - 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器 - 多轴/定制化设置 - 花岗岩制成的底板和减少振动的系统