气浮位移台 A-523.25005B3

Z轴倾斜式机动

高性能--与洁净室兼容--外形小巧 - θX, θY的旋转范围为±1°。 - 平台直径250毫米 - 总高度60毫米 A-523是一个直接驱动的空气轴承Z型尖端/倾斜平台。设计为平行机械式多轴系统，该平台可用于Z和尖端/倾斜运动。该平台以微型形式提供超精密度。非接触部件的组合产生了一个无摩擦的运动平台，具有顶级的性能、质量和使用寿命。 当A-523与A-81x或A-82x系列的控制器一起订购时，PI对Z型平台进行配置和布线，并在应用伺服调谐优化和应用负载下进行。您将收到一个完整的、可随时使用的定位系统。 附件和选项 - 空气过滤器组 - 内置真空夹持机构 应用范围 Z型尖端/倾斜平台非常适合于高精度的应用，如晶圆检测、光纤定位、光学器件定位、平板检测、无掩模光刻和超LED制造。非接触设计是洁净室应用的理想选择。