旋转位移台 A-63x PIglide RL series

机动多轴精准

- 200毫米或300毫米的运动平台直径 - 低轮廓，60毫米 - 偏心率和平面度<100纳米 - 可选择通过磁力预紧在静止状态下自锁 PIglide RL系列直接驱动的低剖面旋转平台是为最高精度的低剖面设计的。不同的选项可以组合成一个理想的解决方案，用于点对点分度或恒速扫描。RL平台具有卓越的行程精度、平面度和晃动性能。 3相扭矩电机 - 无刷 - 无槽式 - 低齿槽转矩 绝对编码器（可选） 绝对编码器提供明确的位置信息，能够立即确定位置。这意味着在开启时不需要参考，这就提高了操作的效率和安全性。 附件和选项 - 增量式或绝对式编码器 - 真空馈入 - 通过磁力预紧在静止状态下自锁 - PIglide过滤器和空气准备套件 - 单轴或多轴运动控制器和伺服驱动器 - 多轴/定制化设计 - 花岗岩制成的底板和减少振动的系统 应用范围 光学对准、晶圆检测、晶圆对准、测量技术、检测系统、校准、扫描。