气浮位移台 A-121 PIglide AT1 series

线性线性电机驱动高精度

- 是扫描应用或高精度定位的理想选择 - 兼容洁净室 - 运动平台的尺寸为115 mm × 115 mm - 60毫米起的低矮外形 - 分辨率达到1纳米 PIglide中的平台配备了一个带有预载空气轴承的伺服驱动线性马达和集成的线性编码器。这些非接触部件的组合导致了一个无摩擦的运动平台，具有最高的性能、质量和使用寿命。 大力的线性马达可以在几毫秒内将平台驱动到最高速度。预载的空气轴承结构支持在任何方向的安装。 应用范围 PIglide定位系统是许多高精度应用的理想选择，如计量学、光子学以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描。 由于无摩擦运动，没有颗粒形成，这使得PIglide平台成为洁净室应用的理想选择。