并联机构纳米定位平台 P-616 NanoCube®

XYZ轴压电3轴

- 平行运动设计，在所有空间方向都有最高的刚度 - 高谐振频率带来的高动态运动，即使负载达到100g也是如此 - 创新的产品设计，由于采用了单一的安装平台，可以灵活使用 - 市场上唯一具有ID芯片功能的纳米定位器 - 市场上最小和最轻的NanoCube®，具有100微米的行程范围 - 光纤定位和对准 - 扫描显微镜 - 双光子聚合 - 纳米技术和纳米制造 - 光子学/集成光学 - 微操作 - 样品定位 得益于PICMA®压电推杆的出色使用寿命 获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受潮湿和因漏电电流增加而导致的故障。PICMA®执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。事实证明，1000亿次的循环没有一次故障。 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米级的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 机械装置和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置的Sub-D连接器的ID芯片中。数字控制器的自动校准功能在每次打开控制器时都使用这些数据。 适用于复杂的真空应用 压电系统中使用的所有元件都非常适合在真空中使用。