- 宽度只有45毫米
- 驱动力7 N
- 具有纳米级位置分辨率的增量式传感器
- XY组合
压电式惯性驱动是一种节省空间、经济实惠的基于压电的驱动装置,具有相对高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动的原理是基于一个单一的压电致动器,该致动器由特殊的驱动电子装置提供的修正锯齿电压控制。执行器缓慢地膨胀并移动转轮。由于其惯性,转轮无法跟随推杆的后续快速收缩而保持在其位置。由于工作频率高达20 kHz,驱动装置直接作用于转轮,实现了最大的速度。6毫米/秒。
应用范围
微组装。光子学。光学对准。显微镜。光束线仪器。半导体技术。测试.
直接测量原理
线性平台配备了一个非接触式测量光学线性编码器和一个参考开关。分辨率为1纳米。
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