旋转位移台 Q-632.930

压电紧凑型适用真空

- 宽度仅为32毫米，高度为8毫米 - 用分辨率为0.75µrad的增量编码器直接测量位置（可选） - 最小增量运动可达3µrad - 旋转范围>360° - 速度45 °/s 压电式惯性驱动是一种节省空间和经济实惠的基于压电的驱动装置，具有相对高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动的原理是基于一个单一的压电致动器，该致动器由特殊的驱动电子设备提供的改良锯齿电压控制。执行器缓慢地膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随推杆的后续快速收缩而保持在其位置。由于工作频率高达20 kHz，驱动装置直接作用于转轮，实现最大速度。45 °/s 应用范围 微组装。光子学。光学对准。显微镜。光束线仪器。半导体技术。测试.