分子成像系统

真空紫外/EUV 和真空摄像机系统 EUV 和 VUV 摄像机提供高分辨率、高动态范围以及良好的时间分辨率。 EUV 和 VUV 摄像机可提供高分辨率（通常低至 10 微米）、高动态范围（12 至 16 位）以及良好的时间分辨率（低至微秒范围），这是现代脉冲等离子放电 EUV 源所必需的。 相机可以从本机 EUV 源以高达 13fps 的全分辨率获取单镜头或同步多个镜头图像，而不会出现出血的伪影。 提供法兰和/或真空版本，具体取决于掩模空白/抗蚀剂/源/光学表征和检测所需的灵活性。 如果使用相机检测多条特征线，灵敏度响应可从 13.5nm 扩展到 0,0135nm。 深度冷却允许极低的暗电流，低至0.005电子/像素/秒，以便在非常微弱的信号需要较长的集成时间时延长曝光。