罗茨泵真空泵 A3P series

无油多级紧凑型

A3P 系列干泵降低运营成本 A3P 系列干泵：针对中型工艺的高能效先进技术 普发真空 A3P 系列真空泵具有三款型号可选，由于产品极大地降低了运营成本，使其在市场中脱颖而出。与以往真空泵技术相比，最高节约能耗可达 50％。在工艺适应性方面，该系列真空泵结合了最先进的技术。此外，由于产品的结构设计紧凑，使其与传统的真空泵相比，可节约高达50％的空间。 优势 • - 运营成本低 • - 占用空间小 • - 重量轻，组装更简易 • - 在中型工艺中性能可靠 • - 满足半导体生产要求 应用 • - 半导体行业（蚀刻、离子注入、PVD 等） • - 太阳能光伏 用于半导体行业的干泵 A3P 系列干泵的设计是基于成熟的多级罗茨技术。泵体内部可耐腐蚀性气体。因此，在中型工艺中，该系列真空泵具有可靠性高的优点。三种型号的真空泵抽速覆盖范围广，因此，可以满足半导体中型工艺用泵的大部分要求。A3P 系列产品适合在无尘室操作，且已通过 CE 和 Semi S2 标准认证。