冷凝式空气粒子计数器 NanoAir™ 10

NanoAir™凝结粒子计数器（CPC）是美国粒子监测系统公司（PMS）推出的一款革命性新产品。它兼具凝结粒子计数器（CPC）的灵敏度以及传统洁净室粒子计数器的易用性和功能性。专为监测超洁净环境而设计，在2.8升/每分钟（0.1立方英尺/每分钟）的采样流速下，可实现10纳米检测灵敏度。 NanoAir的尺寸比同类产品小83%，因此便于在超洁净环境下的任何地点使用，甚至可在半导体制程机台和设备前端模块（EFEM）内部使用。工作流体处理系统采用正在申请专利的创新设计，非常稳健、高效，可实现全年、全天候连续运行，无需维护或任何形式的用户干预，因此减少了采样和数据收集时的中断及制程机台停工时间。 配套提供ParticleSeeker™分流产品，其搭载10个端口，支持按顺序或编程顺序监测多个采样位置的应用场景。 此外，NanoAir在选配PMS的HPD-III高压扩散器后，与高压气体兼容，数据可通过PMS Facility Net设备监测软件予以查看、分析和报送，或直接传输到第三方的监控和数据采集（SCADA）系统或作为制程机台输入值。