光学光谱仪 AirSentry® II AMC

离子流动性工艺流程监控

AirSentry® II 电子迁移率光谱仪用于检测空气分子级污染（AMC)，在监测到含酸类、胺类、氨以及氯化物气体时提醒用户。它具有ppt级的灵敏度，传感器反应迅速、监测选择性广、性能稳定。Air Sentry II传感器配有中央控制软件，可以轻松地采集分析数据。Air Sentry II传感器提供连续可追溯的数据，来快速回应污染源和污染事件。 酸类和基底（胺类、氨以及氯化物）的高灵敏度检测 使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置 体积小，可放在任何位置 以太网，RS-232, 4-20毫安输出 连续监测关键点 耐久可靠的数据收集、控制、分析 长期数据稳定性 最低的每份测试成本 在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测 在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测 化学过滤器有效率的资格确认 遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除 前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析