液体粒子计数器 LiQuilaz® II S series

光学以太网RS485

LiQuilaz® II 系列液体粒子计数器是体积式粒子计数器，有不同的灵敏度，高灵敏度的粒子计数器可监测小至0.2um的粒子。她们为大多数工艺化学品提供高精密分析，例如氢氟酸和高达306°F (150 °C)的热腐蚀剂。 LiQuilaz II 粒子计数器的测量结果具有准确性、可靠性和重复性，深受客户信任。 LiQuilaz II 粒子计数器具有RS-485和以太网网络通信功能，新功能提高了监测的灵活性，而且使安装变得更加简单。 体积式粒子计数器通过监测100%采样体积（多达80 毫升/分）提供高精确度的结果，所以短时间采样的数据结果也具有统计意义。 特点 0.3 -3.0μm大小区间 流量是80 ± 10% 毫升/分钟 和广泛工艺化学品相兼容 体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置 用户可选择的粒径值 灵敏度: S02: 0.2 – 2.0 µm, S03: 0.3 – 3.0 µm, S05: 0.5 – 20.0 µm 使用压缩采样进行冒泡的化学品测量 化学质量保证 工艺槽监测 去离子水监测 化学品传输系统 光刻胶监测