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超高真空显微镜
NX-Hivac
原子力
测量
CCD
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产品规格型号
分类
原子力
专业应用类型
测量
探测器类型
CCD
其他特性
远程工作, 超高真空
空间分辨率
1 µm
产品介绍
Park NX-Hivac是一台高真空原子力显微镜,用于故障分析和大气敏感材料研究。 因为高真空扫描比环境或干燥的N2条件提供了更大的精度和更好的重复性,用户可以在故障分析应用中,例如测量广泛的掺杂物浓度和信号响应。
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此为机器翻译文本。 (查看英文原文)
PDF产品目录
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15 页
AFM Failure Analysis for Semiconductors and Electronic Devices
12 页
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