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原子力显微镜
NX-Mask
用于修复光罩
毫微秒示波器
自动
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原子力
专业应用类型
用于修复光罩
观测技术
毫微秒示波器
其他特性
自动, 超高真空
产品介绍
Park NX-Mask是用于高端EUV掩膜修复的最有效、最安全、最高效的光掩膜修复系统。它提供了一个多合一的解决方案--从自动缺陷审查到修复和验证--以前所未有的修复效果加速了产量。 主要特点 无损坏风险,可无缝修复任何类型的缺陷 ✔与处理EUV掩模的双舱兼容 ✔定位缺陷和修复后验证的一体式解决方案
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