原子力显微镜 NX-Wafer

用于在线晶片检测工业自动化

NX-Wafer是唯一具有自动缺陷审查功能的晶圆厂AFM。它为缺陷成像和分析提供了一个完全自动化的AFM解决方案，可将缺陷审查的生产率提高到1000%。 独特的功能。 低噪音原子力分析器，用于精确、高产量的CMP轮廓测量 以极高的精度测量亚安格伦的表面粗糙度，并将针尖与针尖之间的差异降至最低 智能ADR软件 通过Park的Smart ADR NX-Wafer，可以提供全自动的缺陷审查和识别，通过高分辨率的三维成像，实现关键的在线流程，对缺陷类型进行分类，并找出其来源。 Smart ADR是专门为半导体行业设计的，是目前最先进的缺陷审查解决方案，具有自动目标定位的特点，不需要经常损坏样品的劳动密集型参考标记。与传统的缺陷审查方法相比，智能ADR过程可提高生产力达1000%。此外，由于Park公司突破性的True Non-Contact™ Mode AFM技术，新的ADR能力提供了高达20倍的针尖寿命。 阅读更多：https://www.parksystems.com/index.php/products/industrial-afm/park-wafer/overview