AFM显微镜 NX20

用于研究表面糙度测定模块化

Park NX20是一个适用于所有研究实验室的AFM平台，处理的样品最大可达200mm。从学术应用到半导体和故障分析，NX20提供了独特的功能，如通过去耦XY扫描系统进行精确和可重复的测量，通过低噪声Z检测器进行表面粗糙度测量，真正的非接触式™模式确保了表面粗糙度精度的针尖锐度，广泛的高分辨率扫描模式和模块化设计。NX20因其数据的准确性和可重复的测量而被广泛用于半导体和硬盘行业，提高了生产力标准的分析效率。 300毫米版本--Park NX20 300毫米支持300毫米×300毫米的全机动行进范围，可以有效地检测整个300毫米的晶圆，而不需要任何繁琐的样品位移。 主要技术特点。 具有100微米x100微米扫描范围的二维柔性导向扫描仪 *具有15微米扫描范围的高速Z型扫描仪 *低噪音XYZ位置传感器 *带有可选的编码器的电动XY样品台 *步进和扫描自动化 *无障碍样品架 *用于高级SPM模式和选项的扩展槽 *带有集成LED照明的直接轴上高功率光学器件 *通过滑动连接的SLD头自动啮合 *垂直对齐的电动Z台和聚焦台 *高速24位数字电子装置