光学干涉仪 MSI series

紧凑型数字

MSI 50 特征 配有刚性花岗岩底座和无源空气阻尼减震器。 Z轴配置高精度径向滑轨。 B轴配置倒置干涉仪模块。 B轴配置高分辨率旋转轴，用于精确调节干涉仪单元使其垂直于基片表面。 C轴配置直接驱动旋转轴，用于旋转大口径球面和平面元件。 可选多种工件支架：筒夹夹头，三爪卡盘，HD12、HD25液压膨胀夹头。 配置OptoTech Inspect Mini EL-F Digital 2”斐索干涉仪模块。 紧凑型设计，集成计算机工作站。 操作：常规（手动）或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制。 配置OptoTech干涉仪软件μShape OWI，自动评估镜片面型。 MSI 300 特征 MSI专门设计用于测量直径达到300mm大孔径球面，而且300mm平面测量也可以作为一个选择。 坚固的大理石底座，被动气浮轴承； 高精度滚珠滑块，可调Z轴； 逆向设计的十字滑块X / Y轴干涉仪模块 高分辨率摆动轴（B轴），定位大孔径球面的光学路径； 直接驱动旋转轴（C轴）； 标准夹件机构HD40（可选其他装置）； OptoTech Inspect Mini EL-F Digital 4“ Fizeau-Interferometer module标准干涉仪模块（可选其他）； 紧凑设计，带电脑安防平台； 操作：采用μStitch MSI-软件传统手动或者自动轴位控制； 可选： 不同的费索干涉仪参考球面； 倾斜平台，用于调整平面