菲佐干涉仪 OWI series

光学紧凑型

OWI Desktop 60 mm 特征 非接触式镜片测量系统 坚固结实，带防震垫设计 结构紧凑，桌面放置 易于使用 带千分调节螺丝的三轴精调平台 已包含我公司高级干涉仪模块OptoTech Inspect Mini EL-F 选配件：带精密量具，集成半径测量功能；OptoTech Fringe OWI干涉条纹分析软件 性能数据 工作范围：Ø最大60mm(根据60mm参考球面) 工作范围半径取决于参考球面 OWI 150 XT invers 特征 高精度斐索干涉仪OWI 150 XT invers，可测量球面和非球面表面面型。 运用高精密运动学设计，工作范围高达直径150 mm，本设备是制造高端光学产品不可缺少的一个测量工具。 优化设计的操作方式非常适用于生产制造。 花岗岩测量基座减震性佳，刚性好，保证最高的测量精度。 在牢固的基架上装有无源空气阻尼减震器。 配置减磨轴承和径向滑轨，由伺服电机驱动，通过控制杆设置不同的移动速度，行程达1050 mm。 三轴工作台（可选五轴工作台） 导轨绝对定位精度由测量精度5微米的海德汉光栅尺保证，光栅尺安装位置靠近装置的光轴（阿贝原理）。 创新的安装方式便于安装现有的各种干涉仪（MAHR MarOpto FI 1100 Z, Zygo GPI/Verifire 4Inch and 6Inch, Äpre S100/150 HR）。