皮秒超声技术,或称PULSE™技术,是金属薄膜计量的行业标准。Echo™系统是Onto Innovation声学计量产品系列的最新成员,旨在扩大在多个前沿设备领域的领先地位。
产品概述
Echo系统是一个全面的在线金属薄膜计量工具,用于前沿逻辑、存储器、先进封装和特种半导体器件的单层和多层金属薄膜测量。创新的光学设计在单一平台上将薄膜厚度测量的动态范围从50Å扩展到35µm,并可扩展到测量高纵横比的先进3D NAND结构。专家应用系统(EASy™)软件为开发用户定义的算法提供了灵活性,以便对复杂的多层堆栈进行建模。Echo系统还扩展了PULSE技术系统的材料表征能力。除了BEOL中低k介电膜的杨氏模量和3D NAND中的非晶碳硬掩膜外,Echo系统还包括用于植入物监测和热导率表征的最新电子和算法。小光斑尺寸与快速测量相结合,实现了对0.5毫米边缘的全晶圆测绘能力,提高了工艺开发和优化过程中的信息周转和信息质量。
规格
- 使用飞秒超快激光进行在线光声测量
- 小光斑尺寸(8x10µm)可在15µm的位置进行测量
- 金属薄膜的典型厚度为50Å至35µm
- 高达60w/h的吞吐量
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