IVS系列为半导体、化合物半导体、功率器件、射频、MEMS和LED市场提供光学覆盖和CD计量。这些系统提供了卓越的测量性能,在同一配方中进行叠加和CD测量。
产品概述
IVS 220系统是IVS系列的最新一代产品,是为200毫米晶圆上的终极精度、TIS(工具诱导位移)和产量而设计的。该系统的可靠性和稳定性的基石是其2100小时的平均故障间隔时间(MTBF)。IVS 280在一个为高架轨道处理而设计的封装中提供了同样的能力,具有完全的E84 GEM300能力。
灵活性是化合物半导体工艺的关键,在这种工艺中,许多不同的晶圆尺寸、厚度和工艺可能在同一生产线上运行。IVS系统是这些条件的理想选择。多样化的晶圆处理可以适应晶圆成分的许多变化,包括硅、碳化硅、石英、玻璃、砷化镓、氮化镓、LiNO3、InP。
IVS系列还包括IVS 200系统,它是小型工厂的理想选择,并提供从IVS平台的旧版本升级到IVS 200规格的能力。
IVS系列有助于确保最佳的系统可用性和多年的无问题运行。晶圆处理和导航系统的坚固设计在配方执行期间不需要操作员的协助。配方和数据随着时间的推移保持稳定。
针对MEMS应用的特定算法允许对各种MEMS结构进行测量。IVS系列所表现出的高精度和可靠的能力使该系统与众不同。
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