OCD解决方案技术优化了Atlas和IMPULSE系统在光学临界尺寸(OCD)测量方面的全部能力和连接。
产品概述
Onto Innovation的OCD技术提供了强大的OCD建模和先进的机器学习能力,以及下一代的实时回归,离线灵敏度分析工具和全面的GUI和结构输入,用于真正的多变量建模。Ai Diffract和SpectraProbe软件包都以直观和易于部署的硬件形式提供先进的功能。
每个组件都将无缝OCD功能扩展到Atlas独立和IMPULSE集成计量系统,从离线配方支持和开发到工厂范围的网络和连接,以方便车队管理。
Ai Diffract™软件
AI指导的OCD建模和分析软件,用于高精度的在线光学计量和离线配方开发
Ai Diffract软件是一个强大的建模、可视化和分析软件,具有直观的3D建模界面,可以简化当今最复杂的半导体设备的构建和可视化。Ai Diffract软件专有的拟合算法能够为基于高保真模型的测量提供快速准确的信号处理计算。光谱拟合、配方优化和敏感性分析的自动化功能为用户提供了巨大的生产力。市场上第一个人工智能指导的引擎将基于物理的建模和机器学习协同起来,提供最强大的解决方案,并快速解决问题。
---