晶圆检查机 AWX FSI

粒子工业裂纹

AWX FSI系统对于晶圆制造商提供关键工艺工具的快速粒子监测至关重要。 产品概述 无图案的晶圆需要AWX FSI系统提供的质量控制，通过激光暗场检查来检测裸晶圆上的颗粒、划痕、区域缺陷和微粗糙度（雾度）。AWX FSI系统能够测量不同的晶圆基材、材料和尺寸，包括裸硅和掺杂或涂层晶圆。 自动处理不同的开放盒型和预对准器，使得在研发、生产和质量保证等各种环境中使用这一工具具有广泛的灵活性。AWX检测工具可以处理150毫米、200毫米和300毫米的晶圆，能够根据检测结果自动进行晶圆分类。 规格 - 150/200/300毫米自动晶圆检测 - 敏感度达到纳米级 - 雾度 - 分拣能力 - 灵活的工具配置 - 自动缺陷分类