半导体计量系统 QS1200™
晶圆

半导体计量系统 - QS1200™ - Onto Innovation Inc. - 晶圆
半导体计量系统 - QS1200™ - Onto Innovation Inc. - 晶圆
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产品规格型号

类型
晶圆, 用于半导体

产品介绍

QS1200 FTIR 计量工具是用于掺杂监测、EPI 厚度测量和其他应用的桌面系统。 产品概 述 QS1200 系统专为在硅生长和器件制造领域进行材料表征的先进半导体制造厂而设计。 它提供了利用成熟的光学技术的 FTIR 技术的全新集成水平,以及手动晶圆托盘,可容纳直径为 100、125、150、200 和 300 毫米的 SEMI 标准晶圆。 奇形晶片和 2mm 厚的硅片也可用于 QS1200 系统。

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