发光性检测系统 Vertex™

自动外延反应器用晶圆

Vertex 系统可控制 PL 测量过程，以便您的外延过程保持牢固的控制。 产品概述是 行业标准 RPM 系列的最新成员，Vertex 系统采用了一个伟大的概念，并将其推向最终的结局。 Vertex 系统使用新颖的板载光束剖面仪，通过持续监控激光功率和焦点尺寸来控制功率密度。 这样，用户就可以将功率密度调整为固定值，消除刀具之间的所有变异来源，从而在生产环境中实现良好的刀具匹配。 此外，功率密度控制有助于 Vertex 系统提供高精度和可重复的数据测量。