晶圆计量系统 Atlas® III+

Atlas系列是用于制造FinFET、Gate-all-around（GAA）FET、3D NAND和DRAM等先进器件的控制工具。 通过将计量性能扩展到亚切斯特姆精度和准确度水平，Atlas III+系统在大批量制造的广泛应用中实现了高级工艺控制。Atlas系列产品采用了专有的光谱反射仪和光谱椭圆仪解决方案，当与Onto Innovation公司业界领先的Spectraprobe™和AI-Diffract™ OCD分析软件相结合时，能够对每个关键的制造单元操作进行过程控制。Atlas III+系统和AI-Diffract解决方案提供了跨蚀刻、清洁、沉积和CMP步骤的复杂结构概况的洞察力。