平面度测量仪器 FLATSCAN

表面光学

非接触式自动二维或 3D 测量经度、弓、坡度和表面曲率，用于计算晶圆和玻璃基板的薄膜应力（晶圆应力）的软件模块。 应用 FLATSCAN 用于非接触式测量各种反射表面的平坦度、波浪度、平均半径和薄膜应力，如硅晶片、镜子、X 射线反射镜（歌伯镜）、金属表面或抛光聚合物。 光学测量原理确保了高精度。 它基于测量垂直入射激光束沿恒定步宽度线的反射角度。 表面形状可以精确地根据测量点之间的反射角的变化来计算。 对于某些应用，反射角度本身很有趣。 因此，该软件提供了额外的测量选项。 对于半导体技术的应用，涂层中的薄膜应力可以通过涂层前后测量的半径来计算。 较大的测量场 所用测量原理的一个特点是它从测量场中压痕。 因此，可以任意增加 200mm 的标准测量场直径，而不会降低精度。 高测量精度 FLATSCAN 具有高测量精度。 测量系统的分辨率是 0,1 弧秒。 表面形态可再现性达 100nm。