专业使用的主导的设备在处理在semicunductor技术的200和300 mm薄酥饼。SURFTENS WH 300用一3个轴薄酥饼roboter,薄酥饼扫描器,200并且/或者300 mm薄酥饼的,爱好者过滤装置loadport装备,刻凹痕系统。适用于任何清洁的房间类它以自动映射在薄酥饼的交会角为特色25个薄酥饼的。
SURFTENS WH 300是一种全自动机械的交会角测量仪器,装备用处理机器人、loadport 200mm/300mm薄酥饼的和完全功能的薄酥饼作为requesetd在300mm薄酥饼技术。
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