无摩擦 OAV 扁圆真空预载空气轴承。
输入压力 - 0.28 至 0.68 兆帕(40 至 100 PSI)
输入真空 - 15 英寸汞柱
理想载荷 - 46 牛顿(10.4 磅)
刚度 - 13 N/μ(0.08 磅/μ 英寸)
流量 - 1.1 NLPM(2.4 SCFH)
飞行高度 - 5 μ
轴承尺寸 - 50 毫米
轴承高度 - 22 毫米
轴承重量 - 98 克
外壳材料/表面处理 - 7075 飞机质量铝/Mil 规格硬质阳极氧化处理
多孔介质材料 - 碳
平面度 - 0.001 毫米(0.00004 英寸)
压力端口螺纹 - M3 x 0.5
真空接口螺纹 - M3 x 0.5
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