台式光刻机 200

OAI 200型光罩对准器是一个具有成本效益的高性能光罩对准器，其设计采用了业界公认的组件，使OAI成为光刻资本设备行业的领导者。200型是一个台式光罩对准器，需要最小的洁净室空间。它为研发或有限规模的试生产提供了一个经济的选择。利用创新的空气轴承/真空吸盘调平系统，基片被快速和轻柔地调平，以便在接触曝光期间实现平行光罩对准和整个晶圆的均匀接触。该系统能够达到一微米的分辨率和对准精度。 对准模块具有掩膜插入套和快速更换晶圆卡盘的功能，便于使用各种基片和掩膜，而不需要特殊工具进行重新配置。对准模块集成了X、Y和Z轴的测微计。 200型掩膜对准仪具有可靠的OAI紫外光源，使用功率从200瓦到2000瓦的灯管提供近紫外或深紫外的准直光照。双传感器、光学反馈回路与恒定强度控制器相连接，使曝光强度控制在所需强度的±2%以内。可以快速和容易地改变紫外光的波长。这种光罩对准器是一种灵活的、经济的解决方案，适用于任何入门级的光罩对准和紫外线曝光应用。