基于微处理机的模型458紫外光强度&能源系统准确地描出曝光能量(药量)估计表现步进。它设计为与高强度的ASML,佳能、尼康和Ultratech高强度薄酥饼分节器的使用。读强度、能量和时刻(4000个mW/cm ²,999.9 mJ/cm ²)的365个,400个,420个和436个毫微米波长。可利用任意RS232的缆绳与458软件一起使用送药量数据到computer.APPLICATION
为紫外能量精密测量是根本的各种各样的产业完善,式样458为要求反复性,可靠的紫外测量的所有应用设计。
硬件特点
平均9曝光
数字显示提供清楚,NIST可追踪的测量
测量强度、时间和能量
在一系列的曝光的纪录%偏差
探针波长显示帮助防止在设定的错误
简单的按钮操作提供可靠的结果
RS 232产品下载的和记录分析仪测量结果
匹配许多光致抗蚀剂光谱响应的可拆的探针
显示读书可以结冰
面板提示提示用户
坚固性铝案件特点把柄和探针囊轻便的
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