LED光源

紫外线USB用于光刻工艺

这种新的紫外LED光源是由OAI的光刻专家设计和制造的。该光源具有许多独特的优点，其中最重要的是在特别长的使用寿命内具有稳定的强度。该光源高度节能，无需维护或更换光源，并且不含汞。 OAI紫外线LED光源的光束大小在4英寸到12英寸之间，光束均匀度优于+/-4%。它的特点是采用棱镜阵列和光管，以达到卓越的均匀性。准直角小于2度。这种光源能够实现可变强度，波长为365nm、405nm或组合。特点包括剂量控制和定时曝光。易于使用，OAI光源使用触摸屏界面，有一个USB远程接口。 紫外光源提供多种选择，包括一个重型支架，用于光刻印刷的工具模块，以及单波长或多波长版本。该系统可被集成到任何OAI光刻系统中。