飞秒激光器 Spirit® series

固态调谐可调节波长

高功率飞秒激光器：高精度微加工的新标杆 • 可调节的重复频率从单次发射到 1 MHz，以实现最高吞吐量的处理 • 用户可配置的突发模式以最高的消融效率进行处理 • OLED 显示屏制造 • 半导体晶圆切片 • 聚合物切割 • 金属钻孔和切割 • 硬脆材料的精密加工 • 多晶金刚石(PCD)切割和烧蚀 • 蓝宝石切割和钻孔 • 三光子显微镜 • 光参量放大器泵浦 Spirit ™ 为高精度工业制造中的用于聚合物、薄金属、蓝宝石、聚晶金刚石和许多其他材料的微加工的飞秒激光器设定了新标准。此系列激光器提供高平均功率、高脉冲能量和高重复率，以提高产量。客户受益于其工业可用的短脉冲持续时间和优异的光束质量，从而能够以高的精度和质量加工复杂且具有挑战性的零件，在最高产量时几乎没有热影响区（HAZ）。 以最大生产力实现性能最佳化的最高精度加工 我们为久经考验的 Spirit 平台添加的新功能提供了令人印象深刻的通用性和性能，使其能够支持多种应用。高平均功率（>140 W）和高脉冲能量（>600 µJ）以及高重复频率使得飞秒微加工应用能在购置成本极低的条件下达到极高的生产量。用户可配置的脉冲串模式使加工过程具有更高的烧蚀效率，从而提高了某些材料的产量和质量。脉冲能量和重复频率的可调性（单脉冲 – 30 MHz）使 Spirit 1030-140 成为烧蚀和切割的理想光源。集成的脉冲选择器通过模拟输入信号进行单脉冲选择和快速功率控制，从而实现对激光输出的完全控制。 Spirit 515-50 在 515 nm 的波长下提供大于50 W的输出功率和小于 300 fs 的典型脉冲宽度。 在这种较短的波长下，根据材料的不同，可以按和其他技术相同甚至更高的速度加工出最精细的特征。 全天候工业级可靠性 Spirit 激光器的设计和测试均遵循严格的质量标准，以实现可靠的全天候运作。 内置的数据记录和分析功能可以在系统的整个使用寿命期间监视所有相关的激光参数。 就其本身而言，这表现为一种用于保养和预防性维护的必不可少的诊断工具，该工具可显著提高正常运行时间，从而提高加工的生产能力。