高精度位移台 E-TRI-VM-R1Z轴旋转机动
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产品规格型号
- 方向定位
- Z轴, 旋转
- 类型
- 机动
- 轴数量
- 3轴
- 其他特性
- 高精度, 工业, 用于显微镜
- 速度
最多: 5 mm/s
最少: 0 mm/s
- 重复精度
0.1 µm
- 载荷
最多: 25 kg
(55.12 lb)最少: 0 kg
(0 lb)
产品介绍
E-TRI 系列 E-TRI-VM-R1 平动平台
简要说明：
使用增量式线性编码器进行高精度位置测量
非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。
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