平动位移台 E-HEX-90

旋转线性电机驱动六足式

特点高精度、可组装、可定制、光圈 460 毫米 在紧凑坚固的平台上实现稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力 非常适合在可用空间有限的情况下需要复杂的多自由度运动的应用。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。