倾斜式位移台 E-ABT-XY-360X360

线性XY 轴压电

E-ABT-XY-360X360 (陶瓷直线电机平台) XY 空气轴承直线电机平台 简要说明： 陶瓷版采用高纯度氧化铝作为气浮结构和导轨元件。与花岗岩和金属相比，氧化铝陶瓷具有较小的膨胀系数，以及直线度、硬度和耐磨性等优点。 扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 行程范围达 360 毫米 × 360 毫米 负载能力达 500 N 分辨率达 4.88nm 或 1nm，速度达 500mm/s 增量式编码器或绝对式编码器 可提供氧化铝陶瓷型号，这种材料具有最高的精度和性能，但价格较高。 过滤器和空气准备套件 附加轴 机床底座 花岗岩底板和减震系统 适用于附加定位器的支架，如尖端/倾斜平台或带压电驱动的 6 轴定位器 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量、光电子、精密扫描以及半导体或平板显示器制造。 使用寿命长、与洁净室兼容的拖链 E-ABT-XY-360X360 具有高质量、长寿命的带状电缆和气动软管。大量的研发工作造就了优化的电缆管理系统，可实现数百万次的免维护循环。聚四氟乙烯涂层确保颗粒形成少 由于无摩擦运动，不会产生颗粒，因此 PIglide 平台非常适合洁净室应用。