E-LMT-XY (高精度直线电机平台) XY 线性电机运动平台
简要说明
移动范围 100 mm × 100 mm 或 200 mm × 200 mm
单向重复精度达 0.3 µm
无铁三相直线电机
速度增量至 500 mm/s
分辨率为 4.88 nm 的直线光栅尺
交叉滚柱导轨
直线电机
直线电机是一种电磁直接驱动装置。它们省去了传动系统中的机械部件,直接将驱动力无摩擦地传递到运动平台。这种驱动装置可以达到很高的速度和加速度。无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务,因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此,即使在最低速度时也能平稳运行,同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性,任何位置都能轻松控制。
利用增量式线性编码器进行高精度位置测量
非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置,精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。
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