垂直运动范围 25 或 30 毫米
最小步进至 100nm
负载能力达 6 公斤
直接测量线性编码器选件
步进电机驱动
交叉滚珠导轨
低矮型高精度垂直平移平台
E-SST160-Z50 垂直声控电机平台可提供亚微米级分辨率的高精度 Z 轴运动,负载可达 6 公斤。与垂直安装的线性平台不同,高刚度平台概念使其外形更小,可 360 度接触有效载荷,同时避免了可能影响轴承性能和/或运动直线度的力矩载荷。
具有出色直线度和运动平面度的升降平台
垂直平台设计具有出色的直线度和平面度,与垂直安装的线性定位平台相比,具有更好的俯仰和偏航性能,因为垂直安装的平台悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。
采用语音伺服电机实现高分辨率线性运动 E-SST160-Z50 由步进电机内部驱动,配备交叉滚珠导轨,使用高分辨率光栅闭环,并配备高性能驱动器,以确保定位平台的最小位移和可重复性。
E-SST160-Z50 Z 轴步进电机升降台2 (2)
计算机控制、软件、编程
可选择单轴和多轴高性能运动控制器来操作 E-ABVT-Z 系列 Z 平台。Precision-stage 提供用于调试和轻松操作的驱动程序和软件,以及常用编程语言的程序示例。
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