E-THS 系列无源减震器 THS 系列减震器主要用于最大限度地减少半导体、面板、光学设备、3C 设备、5G 相关设备和测试设备所需的稳定时间,并有效提供减震和降振性能,因此可在不同速度和负载下使用。动的平台。通过整合多年的技术和知识积累,基于客户需求和高端制造,快速推出高品质的一站式微振动解决方案。
采用极其耐用的气囊式空气弹簧,使用寿命长,重量轻。
如果需要更高的重复精度,可在减震器上放置精密(±0.05 毫米)的水平调节阀,以缩短设备的稳定时间,确保平台的水平度。也可使用普通的水平调节阀(精度为 ±1mm)。.
THS1 减震器配有内置油阻尼,可缩短配备运动平台的设备的稳定时间,并提高减震器的刚性。
面板设备、光学设备、检测设备、半导体设备、医疗设备、航空航天和...设备、精密运动平台等。
减振方式:气动减振
固有频率:垂直/水平=2.8-3.5HZ
10Hz 减振率:70-80%
自动调平是
调整水平重复性: 1.标准调整精度 ±1.0mm
2.高精度调整精度 ±0.05mm
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