立式位移台 E-ABR100

旋转机动精准

与洁净室兼容 运动平台直径从 100 毫米到 300 毫米不等 偏心率和平面度 < 100 nm 可垂直或水平安装 设计特点 提供一流的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 在不影响运动质量的前提下提供强大的承载能力 由于结构紧凑、重量轻、具有水平和垂直安装及承载能力，因此可轻松集成到精密系统和机器中 主要应用 E-3R-NG 平台是高精度应用的理想选择，包括 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 显微和纳米层析成像 光束线和同步辐射研究 精密制造，包括金刚石车削、磨削和其他高性能机床应用 光学对准、检测和校准系统 为精密而设计 E-ABR100 系列经过精心设计，能够始终满足最严格的性能要求。其核心是业界领先的空气轴承技术，可提供纳米级误差运动性能，同时具有高刚度和承载能力。 简单、直接的集成