线性位移台 ABW400 series

XY 轴立式机动

扫描应用或高精度定位的理想选择 与无尘室兼容 运动平台尺寸 400 毫米 × 138 毫米 移动范围 200 毫米至 1000 毫米 分辨率达 5 纳米 平台配备带预载空气轴承的伺服驱动直线电机和集成式直线光栅。这些非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有最高的性能、质量和使用寿命。 高力线性电机可在几毫秒内将平台驱动到最高速度，大容量轴承可支持重达 20 公斤的有效载荷。该型号采用横向对置、主动预载空气轴承设计，允许以任何方向安装。 编码器 过滤器和空气准备套件 单轴和多轴运动控制器 XY 设置和单独配置 电缆轨道变化 垂直（Z）方向的配重选项 可定制 花岗岩底板和减震系统 定位系统非常适合许多高精度应用，如计量学、光电子学以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描。 由于无摩擦运动，不会产生颗粒，因此平台非常适合洁净室应用。