行程范围为 100 毫米至 400 毫米
负载能力 10 公斤
空气轴承设计
与典型的气浮平台相比,● 具有更小的横截面,而不影响负载能力。较大的气浮表面提供了出色的刚度,可承受重负荷。专有制造工艺
技术使平台具有无与伦比的俯仰、滚动和偏航特性。
该平台背后的驱动力是精密平台无刷线性伺服电机。它采用了无铁锻造机,这意味着没有齿槽,也没有吸引力,从而实现了无与伦比的平滑运动。由于平台无摩擦,电机零齿槽,因此可以实现极高的分辨率。
非接触式空气轴承、非接触式线性电机驱动和非接触式反馈装置可确保设备长年免维护运行,达到预期的高性能水平。由于运动元件之间没有机械接触,E-EC-ABL-X 不会随着时间的推移而出现磨损或性能下降。空气轴承的使用寿命几乎是无限的,而且由于没有润滑剂,只有清洁、干燥的气体,因此空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。
定位系统非常适合许多高精度应用,如计量学、光电子学以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描。
由于无摩擦运动,不会产生颗粒,因此平台非常适合洁净室应用。
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