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线性位移台 MiniSCANXY 轴Z轴线性电机驱动
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性, XY 轴, Z轴
- 类型
- 线性电机驱动
- 其他特性
- 精准, 测量, 标准, 自动聚焦
- 速度
20 mm/s, 50 mm/s, 100 mm/s, 300 mm/s
- 重复精度
2 nm, 20 nm, 100 nm, 200 nm, 300 nm
- 载荷
8 kg, 10 kg
(17.64 lb, 22.05 lb)
产品介绍
iniSCAN 系列 MiniSCAN 系列是我公司近期推出的一款高精度桌面扫描系统。整机采用稳定性极佳的大理石底座，配备高精度 XY 轴和 Z 轴运动平台，并预留光路安装和照明。该机构可以非常快速地组合成满足客户要求的各种应用。目前，它在半导体晶片扫描、生物检测和干涉仪测量等高精度应用领域已有非常成功的应用案例。MiniSCAN 系列的主要特点 标准桌面级隔振系统 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台 驱动控制系统已嵌入整机结构，无需额外的控制盒 可根据客户要求选择定制的照明和成像机构 可选高精度测距模块，实现 0.2um 级自动对焦 可选标准控制软件，以及完整、丰富、快速的二次开发包
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