线性位移台 E-LMT-XYZ

立式线性电机驱动

具有出色直线度和运动平面度的升降平台 垂直平台的设计提供了出色的直线度和平面度，与垂直安装的线性定位平台相比，具有更好的俯仰和偏航性能。 与垂直安装的线性定位平台相比，垂直平台的悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 悬臂载荷会导致支撑线性轴承发生偏移。 通过音圈伺服电机实现高分辨率线性运动E-ABVT-Z 由音圈电机内部驱动，配备气浮传输导轨。 配有气浮传送导轨（也可使用十字球导轨），使用高分辨率光栅来闭合环路，并配备了气浮导轨（也可使用十字球导轨）。 并配备高性能驱动器，以确保定位台的最小位移和可重复性。 实现卓越性能。 计算机控制、软件、编程