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机动位移台 HEX-S5.10.60-XXX Series3轴紧凑型
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产品规格型号
- 类型
- 机动
- 轴数量
- 3轴
- 其他特性
- 紧凑型
- 速度
15 mm/s, 100 mm/s
- 重复精度
0.2 µm, 0.3 µm
产品介绍
HEX-S5.10.60-XXX 系列平行移动平台六自由移动平台
简要说明：
六自由度平行运动设计使其比串联运动系统更紧凑、更坚固，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小
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15 mm/s, 100 mm/s
0.2 µm, 0.3 µm
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