六足式位移台 HEX-S6.50.200XYZ轴旋转机动
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产品规格型号
- 方向定位
- XYZ轴, 旋转
- 类型
- 机动, 六足式
- 轴数量
- 6轴
- 其他特性
- 精准, 紧凑型, 用于晶圆操作, 带内置步进电动机
- 速度
15 mm/s, 100 mm/s
- 载荷
750 kg
(1,653.47 lb)
产品介绍
HEX-S6.50.200 6 轴六足三脚架 平行六自由度平台
简短说明：
特点高精度，可组装，可定制，光圈 460mm
在紧凑坚固的平台上实现稳定可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率和足够的有效载荷能力 在可用空间有限的情况下，非常适合需要复杂多自由度运动的应用。适用于半导体测试晶片的水平校准。光学检测、大中空孔径调整光路的应用场景。
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