VHT 系列的紧凑型气密罐式炉为电控加热箱式炉,配有石墨、钼、钨或 MoSi2加热装置。无论是通过其可变的加热方案还是其各种附件,这些气密罐式炉均可以实现技术要求很高的客户工艺流程。
真空气密罐既可以在保护和反应气体环境下也可以根据炉子规格在 10-5 mbar的真空环境下进行热处理。基本型电炉适用于在不易燃保护或反应气体或真空条件下的运行。H2规格允许在氢气或其它可燃气体环境下操作。该规格的关键在于经过认证的安全工序包,它可以随时确保安全运行并在发生故障时调用导入相关的紧急程序。
不同的加热规格
通常情况下以下的可变类型可以满足工艺要求:
VHT ../..-GR 带有石墨隔热材料和加热装置
可用于保护和反应气体或真空条件下的工艺
根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-4 mbar
石墨隔热材料
VHT ../..-MO 或 VHT ../..-W 带钼或钨加热装置
可用于保护和反应气体或高真空条件下的工艺
根据所采用的泵型不同,最大真空可达 10-5 mbar
由钼和钨辐射片各自制成的绝缘材料
VHT ../..-KE 带有纤维隔热材料和加热装置,通过二硅化钼制成的加热元件加热