用于太阳能/光伏晶圆的过程中监测
多通道厚度、TTV和弓形测量模块,用于太阳能/光伏晶圆和其他材料的过程中监测。
特点
每个机架最多有三个厚度通道
专有的MTII推/拉电容探头适用于所有晶圆类型
最小、最大、平均和总厚度变化的测量
弓形测量(需要3个探头对)。
集成的数据采集和控制电子设备
快速以太网通信端口,生产速度可达每秒5片晶圆
可扩展,用于增加厚度线扫描的数量
用于与现有晶圆处理设备接口的数字I/O
基于Windows®的控制程序,用于本地或远程数据监控
基于Windows®的DLL包,可与现有的控制电脑集成
提供标准和定制的探头尺寸
关于光伏/太阳能计量系统
多通道厚度、TTV和弓形测量模块,用于太阳能/光伏硅片和其他材料的过程监测。
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