晶圆计量系统 PV-1000 series

晶圆计量系统 - PV-1000 series - MTI Instruments/美国MTI
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产品规格型号

类型
晶圆

产品介绍

用于太阳能/光伏晶圆的过程中监测 多通道厚度、TTV和弓形测量模块,用于太阳能/光伏晶圆和其他材料的过程中监测。 特点 每个机架最多有三个厚度通道 专有的MTII推/拉电容探头适用于所有晶圆类型 最小、最大、平均和总厚度变化的测量 弓形测量(需要3个探头对)。 集成的数据采集和控制电子设备 快速以太网通信端口,生产速度可达每秒5片晶圆 可扩展,用于增加厚度线扫描的数量 用于与现有晶圆处理设备接口的数字I/O 基于Windows®的控制程序,用于本地或远程数据监控 基于Windows®的DLL包,可与现有的控制电脑集成 提供标准和定制的探头尺寸 关于光伏/太阳能计量系统 多通道厚度、TTV和弓形测量模块,用于太阳能/光伏硅片和其他材料的过程监测。

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